一种超低畸变匀光DMD数字投影光学系统

摘要

本发明公开了一种超低畸变匀光DMD数字投影光学系统，包括光源、匀光整形系统，数字微镜以及投影物镜系统，所述匀光整形系统包括导光棒、扩束透镜系统以及反射镜系统，所述光源、导光棒以及扩束透镜系统依次设于第一光轴上，所述数字微镜以及投影物镜系统依次设于位于扩束透镜系统一端的第二光轴上，且所述第一光轴与第二光轴具有夹角；其中，所述光源发出的光束经导光棒以及扩束透镜系统后，通过反射镜系统反射至数字微镜上，所述数字微镜将反射的光束经投影物镜系统成像。本发明具有较高的照明均匀性和精度、以及超低畸变和成本低廉的优点。

主权项

一种超低畸变匀光DMD数字投影光学系统，包括光源(1)，其特征在于：还包括匀光整形系统、数字微镜(6)以及投影物镜系统(7)，所述匀光整形系统包括导光棒(2)、扩束透镜系统(3)以及反射镜系统(8)，所述光源(1)、导光棒(2)以及扩束透镜系统(3)依次设于第一光轴(A)上，所述数字微镜(6)以及投影物镜系统(7)依次设于位于扩束透镜系统(3)一端的第二光轴(B)上，且所述第一光轴(A)与第二光轴(B)具有夹角；其中，所述光源(1)发出的光束经导光棒(2)以及扩束透镜系统(3)后，通过反射镜系统(8)反射至数字微镜(6)上，所述数字微镜(6)将反射的光束经投影物镜系统(7)成像。