隔离的斜角边缘的清洗设备及方法

摘要

本发明涉及基板边缘的清洗设备、系统及方法，其包含硬毛刷单元，可在清洗化学品存在下，利用摩擦接触而清洗沉积在基板边缘的斜角聚合物。该硬毛刷单元由多个向外延伸的叶片组成，且位于旋转轴上。磨粒材料分布在整个硬毛刷单元的向外延伸的叶片中以提供摩擦接触。在流体如清洗化学品存在下，该多个研磨微粒与基板边缘的摩擦接触可让硬毛刷单元清洗基板边缘，而将基板边缘的斜角聚合物加以切断、撕裂以及移除。

主权项

一种半导体基板边缘的清洗设备，包含：用以容纳该半导体基板边缘的外框，外框中设置有空腔，使得该空腔被该外框所包围，该外框中的该空腔具有开口，使得仅有通过该外框接收的该半导体表面部分延伸进入该空腔；硬毛刷单元，其位于该外框的该空腔内，该硬毛刷单元具有多个向外延伸的叶片，该硬毛刷单元装设在旋转轴上且排列成使向外延伸的叶片在旋转时与该半导体基板延伸至该空腔内的边缘部分的下侧相接触，其中该向外延伸的叶片由多孔材料制成；在该外框的该空腔内的流体配送通道，该流体配送通道配置为将清洁化学品引导至该硬毛刷单元的多个向外延伸的叶片，该清洁化学品在该半导体基板的该边缘部分的下侧的清洁过程中提供润滑；以及喷嘴，用于将流体以变化的压力导入延伸到该空腔内的该半导体基板边缘的上表面，用于防止清洗材料移至该基板的上表面。