一种直拉单晶法的冷却工艺

摘要

一种直拉单晶法的冷却工艺，即在冷却时，停止向炉体内通入冷却气体，与此同时，关闭真空泵，这样，就形成了一个密闭的空间，炉体内的气体作为介质就可以把更多的热传给炉壁流动的水，冷却效率更高。本发明在保证直拉单晶硅棒质量、成晶率以及生产周期的前提下，不仅使直拉法冷却工艺更加高效明显，还大大降低了冷却气体的使用量，从而较大程度上降低直拉法的生产成本。

主权项

一种直拉单晶法的冷却工艺，其特征在于：在冷却阶段进行0.8‑1.2h后，炉内温度降到1220‑1280℃，压力在30‑34Pa时，停止向炉内通入氩气，并关闭真空泵，炉内形成一个保压的状态，压力为50‑56Pa，维持4.2‑4.8h，直至整个直拉法单晶制备工艺结束。