激光修补机台

摘要

一种激光修补机台，适于修补主动元件阵列基板。此主动元件阵列基板具有至少一测试线路，此测试线路具有至少一对彼此电性连接的测试垫。激光修补机台包括载台、激光修补装置以及阻值量测装置。载台适于承载主动元件阵列基板。激光修补装置适于先切断测试线路的部分区域以使一对测试垫彼此电性绝缘，再形成修补线以使这对测试垫重新电性连接。阻值量测装置配置于激光修补装置上。阻值量测装置具有至少一探针，而探针适于与这对测试垫接触以量测出修补线的阻值。本发明的雷射激光修补机台可降低因机况异常而修补失败的主动元件阵列基板流至后段加工中的机率，进而能减少后段加工的人力与物料被浪费的机率。

主权项

一种激光修补机台，适于修补一主动元件阵列基板，该主动元件阵列基板具有至少一测试线路，该测试线路具有至少一对彼此电性连接的测试垫，其特征在于，该激光修补机台包括：一载台，适于承载该主动元件阵列基板；一激光修补装置，适于先切断该测试线路的部分区域以使该对测试垫彼此电性绝缘，再形成一修补线以使该对测试垫重新电性连接；以及一阻值量测装置，配置于该激光修补装置上，该阻值量测装置具有至少一探针，该探针适于与该对测试垫接触以量测出该修补线的阻值，且该阻值量测装置在修补线形成之前与修补线形成之后分别进行阻值的量测。