一种制备具有高度渐变表面微纳米结构的材料的方法

摘要

本发明公开了一种制备具有高度渐变表面微纳米结构的材料的方法。该方法包括如下步骤：1)在衬底上涂覆电子抗蚀剂得到电子抗蚀剂层，并烤胶；2)电子束曝光，显影，定影；3)涂覆苯甲醚得到苯甲醚层，并烤胶；4)将目标材料沉积到苯甲醚层之上，得到目标材料层；5)将目标材料层粘附在另一块衬底上；6)将目标材料层与所述电子抗蚀剂层进行剥离。该方法操作方式简便，材料适用范围广，图案形状、位置可定义，结构表面光滑，具有很高的可控性及可重复性，在表面等离激元研究、纳米颗粒的自组装、太阳能利用、微流研究等方面都能发挥巨大作用。

主权项

一种制备具有渐变表面微纳米结构的材料的方法，依次包括如下步骤：1)在衬底上涂覆电子抗蚀剂得到电子抗蚀剂层，并烤胶；2)将所述步骤1)烤胶完毕的电子抗蚀剂层用电子束曝光，显影，定影；3)在所述步骤2)定影完毕的电子抗蚀剂层上涂覆苯甲醚得到苯甲醚层，并烤胶；所述涂覆苯甲醚的方法为旋涂法，转速为3000rpm；4)将目标材料沉积到所述步骤3)得到的苯甲醚层之上，得到目标材料层；5)将所述步骤4)得到的目标材料层粘附在另一块衬底上；6)将所述步骤4)得到的目标材料层与所述电子抗蚀剂层进行剥离，得到所述具有渐变表面微纳米结构的材料。