一种极紫外光刻照明系统中中继镜组的设计方法

摘要

本发明提供一种极紫外光刻照明系统中中继镜组的设计方法，具体过程为：获取照明系统的出瞳直径和出瞳距离；设定一虚拟面，且虚拟面与光刻照明系统的出瞳面关于掩模面对称；设置一孔径光阑，所述孔径光阑位置与掩模面上弧形区域的位置重合，且该孔径光阑的尺寸与弧形区域的尺寸相同；令第一中继镜的非临近焦点与所述虚拟面的中心重合，且使所述虚拟面经过第一中继镜反射后成像在它的临近焦点上；令孔径光阑经过第一中继镜反射后成像在第二中继镜的临近焦点上，再经过第二中继镜反射后成像在它的非临近焦点上；利用光线追踪原理，基于所述出瞳直径、出瞳距离及两中继镜的相对位置关系，计算出两中继镜的面型参数和位置坐标。

主权项

一种极紫外光刻照明系统中中继镜组的设计方法，该光刻照明系统沿光路方向依次包括光源、聚光镜、双排复眼以及中继镜组构成；其特征在于，该方法的具体步骤为：步骤101、根据与所述光刻照明系统匹配的投影物镜系统的相关参数，获取照明系统的出瞳直径和出瞳距离，同时获取掩模面弧形区域的尺寸；步骤102、设定一虚拟面，且虚拟面与光刻照明系统的出瞳面关于掩模面对称；步骤103、设置一孔径光阑，所述孔径光阑位置与掩模面弧形区域的位置重合，且该孔径光阑的尺寸与掩模面弧形区域的尺寸相同；步骤104、定义逆向光线追迹过程中遇到的第一片中继镜为第一中继镜，遇到的第二片中继镜为第二中继镜，确定两片中继镜的相对位置关系，即：令第一中继镜的非临近焦点与所述虚拟面的中心重合，且使所述虚拟面经过第一中继镜反射后成像在它的临近焦点上；令孔径光阑经过第一中继镜反射后成像在第二中继镜的临近焦点上，再经过第二中继镜反射后成像在它的非临近焦点上；步骤105、利用光线追踪原理，基于所述出瞳直径、出瞳距离及两中继镜的相对位置关系，计算出两中继镜的面型参数和位置坐标。