一种大尺寸蓝宝石单晶生长炉的旋转提拉结构

摘要

本发明提供了一种大尺寸蓝宝石单晶生长炉的旋转提拉结构。它包括籽晶杆旋转系统、提拉系统和悬臂称重支撑系统，悬臂称重支撑系统设置在籽晶杆旋转系统和提拉系统之间，悬臂称重支撑系统包括称重悬臂和圆柱导轨，籽晶杆旋转系统包括旋转系统、旋转系统伺服电机及减速器、籽晶杆中心位置调整系统、波纹管和设置在波纹管内的水冷籽晶杆，提拉系统包括提拉系统伺服电机及减速器、电磁离合器、丝杆和手动提拉传动组件。本发明结构合理、控制精度高、可靠性和稳定性相对较高，可实现精确提拉和旋转，控制精度达到万分之一以上，机构的抗干扰性及称重精确度都有较大提高。

主权项

一种大尺寸蓝宝石单晶生长炉的旋转提拉结构，其特征在于它包括籽晶杆旋转系统、提拉系统和悬臂称重支撑系统，悬臂称重支撑系统设置在籽晶杆旋转系统和提拉系统之间，悬臂称重支撑系统包括称重悬臂和圆柱导轨，称重悬臂设置在籽晶杆旋转系统的右侧，籽晶杆旋转系统包括旋转系统、旋转系统伺服电机及减速器、籽晶杆中心位置调整系统、波纹管和设置在波纹管内的水冷籽晶杆，旋转系统伺服电机及减速器设置在旋转系统上方，波纹管设置在旋转系统下方，籽晶杆中心位置调整系统固定在称重悬臂上，圆柱导轨设置在提拉系统的左侧，提拉系统包括提拉系统伺服电机及减速器、电磁离合器、丝杆和手动提拉传动组件，电磁离合器设置在提拉系统伺服电机及减速器的下方，丝杆设置在电磁离合器的下方，丝杆的下端连接有手动提拉传动组件。