腔外谐振紫外激光产生装置

摘要

本发明公开一种腔外谐振紫外激光产生装置，包括位于同一准直光路上的二次谐波系统和四次谐波系统。其中二次谐波系统为全固态激光器结构，四次谐波系统为腔外谐振结构，其主要由532nm光隔离器、四次谐波前端双色镜片、四次谐波非线性光学频率变换晶体和四次谐波后端双色镜片组成；532nm光隔离器后置于二次谐波系统准直光路输出端上；由四次谐波前、后端双色镜片所形成的四次谐波F-P谐振腔位于532nm光隔离器的后方，四次谐波非线性光学频率变换晶体处于四次谐波F-P谐振腔内。本发明具有结构简单、体积小、功率大、激光输出功率稳定且光束质量好等特点。

主权项

腔外谐振紫外激光产生装置，其特征在于：包括二次谐波系统(1)和四次谐波系统(2)；其中二次谐波系统(1)为全固态激光器结构、并输出中心波长为532nm的激光，四次谐波系统(2)为腔外谐振结构、并输出中心波长为266nm的激光，二次谐波系统(1)和四次谐波系统(2)位于同一准直光路上；上述四次谐波系统(2)主要由532nm光隔离器(2‑1)、四次谐波前端双色镜片(2‑2)、四次谐波非线性光学频率变换晶体(2‑3)和四次谐波后端双色镜片(2‑4)组成；532nm光隔离器(2‑1)后置于二次谐波系统(1)准直光路输出端上；由四次谐波前、后端双色镜片所形成的四次谐波F‑P谐振腔位于532nm光隔离器(2‑1)的后方，四次谐波非线性光学频率变换晶体(2‑3)处于四次谐波F‑P谐振腔内；上述532nm光隔离器(2‑1)、四次谐波前端双色镜片(2‑2)、四次谐波非线性光学频率变换晶体(2‑3)和四次谐波后端双色镜片(2‑4)共同处于同一准直光路上。