| 摘要 |
1. Многофункциональный сканирующий зондовый микроскоп, содержащий:основание (1),блок предварительного сближения (3), мобильно установленный на основании (1),пьезосканер (4), расположенный на блоке предварительного сближения (3),держатель объекта (5), расположенный на пьезосканере (4),образец (6), содержащий зону измерений (М) и закрепленный с помощью держателя объекта (5) на пьезосканере (4),платформу (9), закрепленную на основании (1) напротив образца (6),анализатор, установленный на платформе (9) и содержащий первую измерительную головку (13), обращенную к образцу (6) иадаптированную для зондирования зоны измерений (М) образца (6),характеризующийся тем, чтоон содержит первую (10) и вторую (11) направляющие, закрепленные на платформе (9), тем, что анализатор содержит вторую измерительную головку (16), обращенную к образцу (6) и адаптированную для зондирования зоны измерений (М) образца (6), и тем, что первая (13) и вторая (16) измерительные головки мобильно установлены соответственно на первой (10) и второй (11) направляющих.2. Многофункциональный сканирующий зондовый микроскоп по п.1, характеризующийся тем, что он содержит оптический блок(29), закрепленный на основании (1) и включающий:лазерный модуль (19),первые двухкоординатные направляющие (21), обращенные к образцу (6) и закрепленные на лазерном модуле (19),лазер (20), мобильно установленный на первых двухкоординатных направляющих (21) и могущий быть оптически сопряженным с зоной измерения (М) образца (6),приемный модуль (24),вторые двухкоординатные направляющие (26), обращенные к образцу (6) и закрепленные на приемном модуле (24),фотоприемник (25), мобильно установленный на вторых двухкоординатных направляющих (2 |
