| 摘要 |
1. Устройство для осаждения покрытий из парогазовой фазы, содержащее горизонтальную цилиндрическую реакционную камеру с нагревателем изделий и введенным через торцевую крышку валом, привод для вращательно-поступательного перемещения обрабатываемых изделий с закрепленным на нем держателем изделий, испаритель для ввода исходных реагентов в верхней части камеры, связанный с системой дозирования, патрубок для отвода продуктов реакции в нижней части камеры, снабженный азотной ловушкой и сборником конденсата и связанный с системой вакуумной откачки, отличающееся тем, что нагреватель изделий вмонтирован по оси камеры в ее торцевой части, противоположной крышке камеры с вводом вала держателя изделий вне зоны размещения испарителя и патрубка отвода продуктов реакции.2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что зона размещения испарителя и патрубка отвода продуктов реакции оборудована тепловыми экранами, выполненными в виде металлических сегментов, закрепленных на стенках камеры. |
