发明名称 |
激光器件及具有激光器件的阵列、设备、模块和系统 |
摘要 |
本发明公开了一种垂直腔表面发射激光器件及具有该激光器件的阵列、设备、模块和系统。垂直腔表面发射激光器件包括:包括有源层的谐振器结构;以及半导体多层反射器,该半导体多层反射器设置成在其间夹置该谐振器结构,并且包括多对第一层和第二层,第一层和第二层具有不同的折射率,其中,第二层比第一层具有更高的导热率,半导体多层反射器包括第一局部反射器和第二局部反射器,第一局部反射器包括至少一对,其中第二层在光学厚度上大于第一层,第二局部反射器设置在第一局部反射器和谐振器结构之间,并且包括至少一对,其中,第一层和第二层中每一个在光学厚度上都小于第一局部反射器的第二层的。 |
申请公布号 |
CN102983498A |
申请公布日期 |
2013.03.20 |
申请号 |
CN201210493444.4 |
申请日期 |
2009.04.28 |
申请人 |
株式会社理光 |
发明人 |
轴谷直人;佐藤俊一;菅原悟;本村宽 |
分类号 |
H01S5/183(2006.01)I;B41J2/44(2006.01)I;B41J2/47(2006.01)I |
主分类号 |
H01S5/183(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
张祥 |
主权项 |
一种垂直腔表面发射激光器件,其相对于衬底正交地发光,该垂直腔表面发射激光器件包括:包括有源层的谐振器结构;以及半导体多层反射器,该半导体多层反射器设置成在其间夹置该谐振器结构,并且包括多对第一层和第二层,所述第一层和第二层具有不同的折射率,其中,所述第二层比第一层具有更高的导热率,所述半导体多层反射器包括第一局部反射器和第二局部反射器,第一局部反射器包括至少一对,其中所述第二层在光学厚度上大于第一层,所述第二局部反射器设置在第一局部反射器和谐振器结构之间,并且包括至少一对,其中,第一层和第二层中每一个在光学厚度上都小于所述第一局部反射器的第二层的。 |
地址 |
日本东京都 |