发明名称 |
感光性树脂组合物、感光性树脂组合物膜和使用它们的半导体器件 |
摘要 |
本发明提供固化后的应力小、热压接后的粘合性优异的感光性树脂组合物和感光性树脂组合物膜。所述感光性树脂组合物的特征在于,含有以下成分:(a)碱溶性聚酰亚胺,具有下述通式(1)所示的结构单元,且在主链的至少一个末端具有通式(2)和/或(3)所示的结构;(b)分子内具有2个以上的环氧基和/或氧杂环丁烷基的化合物;(c)醌二叠氮化合物,其中丙烯酸树脂的含量相对于100重量份的聚酰亚胺(a)小于10重量份,化合物(b)的含量相对于100重量份的聚酰亚胺(a)为20重量份以上。<img file="DPA00001657085400011.GIF" wi="1077" he="1166" /> |
申请公布号 |
CN102985877A |
申请公布日期 |
2013.03.20 |
申请号 |
CN201180031004.0 |
申请日期 |
2011.06.10 |
申请人 |
东丽株式会社 |
发明人 |
仁王宏之 |
分类号 |
G03F7/023(2006.01)I;C09J7/02(2006.01)I;C09J11/06(2006.01)I;C09J179/08(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/023(2006.01)I |
代理机构 |
北京市金杜律师事务所 11256 |
代理人 |
杨宏军;王大方 |
主权项 |
1.一种感光性树脂组合物,其特征在于,含有以下成分:(a)碱溶性聚酰亚胺,具有下述通式(1)所示的结构单元,且在主链的至少一个末端具有通式(2)和/或(3)所示的结构;(b)分子内具有2个以上的环氧基和/或氧杂环丁烷基的化合物;(c)醌二叠氮化合物,其中化合物(b)的含量相对于100重量份的聚酰亚胺(a)为20重量份以上,<img file="FPA00001657085600011.GIF" wi="1188" he="1201" /> |
地址 |
日本东京都 |