发光元件的检测装置及检测方法

摘要

本发明提供一种提高扩张晶片上的发光元件的光学特性的检测效率，使每单位时间的检测个数增多的发光元件的检测装置及检测方法。本发明的课题通过以下的检测装置及采用该检测装置的检测方法来解决。该检测装置包括：晶片卡盘台，其具备多个晶片卡盘；位置测定装置，用于对被装载于各晶片卡盘上的扩张晶片上的发光元件的位置进行测定；光电检测器及探针，其与各扩张晶片分别对应地设置；以及控制装置，其具有：使晶片卡盘台在XY轴方向上移动以使各扩张晶片上的发光元件依次地来到对应的探针的下方的机构；使各探针移动以使探针来到与发光元件的电极位置相对应的位置的机构；和使探针与对应的各个发光元件的电极接触的机构。

主权项

一种扩张晶片上的发光元件的检测装置，其特征在于，包括：（1）位置测定部，其包括：具备多个晶片卡盘的晶片卡盘台和位置测定装置，该位置测定装置对被装载于所述各晶片卡盘上的扩张晶片上的发光元件的、相对于基准位置的相对位置进行测定并作为发光元件位置信息进行存储；（2）检测部，其包括：与被装载于所述各晶片卡盘上的扩张晶片分别对应地设置的光电检测器及一根或者两根以上的探针，和使所述探针各自独立地在XYZ轴方向上移动的探针移动台；及（3）控制装置，其包括：根据所述发光元件位置信息使所述晶片卡盘台在XY轴方向上移动以使各扩张晶片上的发光元件来到依次对应的一根或者两根以上的探针的下方的机构；根据所述发光元件位置信息和各发光元件中的电极位置信息使所述探针移动台动作，从而使各探针在XY轴方向上移动，以使所述各探针来到与位于下方的发光元件的电极位置对应的位置的机构；使所述探针相对于所述晶片卡盘台在Z轴方向上移动并使所述探针与对应的各发光元件的电极接触的机构。