发明名称 |
一种新型蓝宝石晶体生长炉炉体冷却系统 |
摘要 |
本发明公开了一种新型蓝宝石晶体生长炉炉体冷却系统,包括腔室主体水冷系统,上炉盖水冷系统和下炉盖水冷系统。此种炉体冷却系统设计简单,冷却能力强,制造成本低,换热效果更好。 |
申请公布号 |
CN102978690A |
申请公布日期 |
2013.03.20 |
申请号 |
CN201210567620.4 |
申请日期 |
2012.12.24 |
申请人 |
苏州工业园区杰士通真空技术有限公司 |
发明人 |
滑喜宝 |
分类号 |
C30B15/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I |
主分类号 |
C30B15/00(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种新型蓝宝石晶体生长炉炉体冷却系统,包括腔室主体水冷系统,上炉盖水冷系统和下炉盖水冷系统,其特征在于,所述腔室主体水冷系统为双层筒体之间加导流槽,冷却水一进一出,所述上炉盖水冷系统为单层炉盖悬挂金属导热板,金属导热板上焊接有金属水管,冷却水一进一出,所述下炉盖水冷系统为单层炉盖支撑金属导热板,金属导热板上焊接有金属水管,冷却水一进一出。 |
地址 |
215212 江苏省苏州市工业园区苏惠路88号环球财富广场1幢2803室 |