发明名称 一种新型蓝宝石晶体生长炉炉体冷却系统
摘要 本发明公开了一种新型蓝宝石晶体生长炉炉体冷却系统,包括腔室主体水冷系统,上炉盖水冷系统和下炉盖水冷系统。此种炉体冷却系统设计简单,冷却能力强,制造成本低,换热效果更好。
申请公布号 CN102978690A 申请公布日期 2013.03.20
申请号 CN201210567620.4 申请日期 2012.12.24
申请人 苏州工业园区杰士通真空技术有限公司 发明人 滑喜宝
分类号 C30B15/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I 主分类号 C30B15/00(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种新型蓝宝石晶体生长炉炉体冷却系统,包括腔室主体水冷系统,上炉盖水冷系统和下炉盖水冷系统,其特征在于,所述腔室主体水冷系统为双层筒体之间加导流槽,冷却水一进一出,所述上炉盖水冷系统为单层炉盖悬挂金属导热板,金属导热板上焊接有金属水管,冷却水一进一出,所述下炉盖水冷系统为单层炉盖支撑金属导热板,金属导热板上焊接有金属水管,冷却水一进一出。
地址 215212 江苏省苏州市工业园区苏惠路88号环球财富广场1幢2803室