发明名称 PROCEDE DE REALISATION D'UNE STRUCTURE A CAVITE FERMEE HERMETIQUEMENT ET SOUS ATMOSPHERE CONTROLEE
摘要 Procédé de réalisation d'une structure d' encapsulation (100) comportant les étapes de : - réalisation d'au moins une portion de matériau (110) apte à libérer au moins un gaz lorsque ledit matériau est chauffé, la portion de matériau communiquant avec l'intérieur d'une cavité (102) fermée hermétiquement de la structure d' encapsulation, - chauffage de tout ou partie de ladite portion de matériau tel qu'au moins une partie du gaz soit libérée depuis ladite portion de matériau dans la cavité .
申请公布号 FR2980034(A1) 申请公布日期 2013.03.15
申请号 FR20110057975 申请日期 2011.09.08
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES 发明人 PORNIN JEAN-LOUIS;BAILLIN XAVIER;GILLOT CHARLOTTE;VANDROUX LAURENT
分类号 H01L21/54;B81B7/02;H01L21/52;H01L23/02;H01L23/20 主分类号 H01L21/54
代理机构 代理人
主权项
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