发明名称 |
PROCEDE DE REALISATION D'UNE STRUCTURE A CAVITE FERMEE HERMETIQUEMENT ET SOUS ATMOSPHERE CONTROLEE |
摘要 |
Procédé de réalisation d'une structure d' encapsulation (100) comportant les étapes de : - réalisation d'au moins une portion de matériau (110) apte à libérer au moins un gaz lorsque ledit matériau est chauffé, la portion de matériau communiquant avec l'intérieur d'une cavité (102) fermée hermétiquement de la structure d' encapsulation, - chauffage de tout ou partie de ladite portion de matériau tel qu'au moins une partie du gaz soit libérée depuis ladite portion de matériau dans la cavité .
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申请公布号 |
FR2980034(A1) |
申请公布日期 |
2013.03.15 |
申请号 |
FR20110057975 |
申请日期 |
2011.09.08 |
申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES |
发明人 |
PORNIN JEAN-LOUIS;BAILLIN XAVIER;GILLOT CHARLOTTE;VANDROUX LAURENT |
分类号 |
H01L21/54;B81B7/02;H01L21/52;H01L23/02;H01L23/20 |
主分类号 |
H01L21/54 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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