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Es wird bereitgestellt eine Autofokuseinrichtung für eine Abbildungsvorrichtung, die eine Abbildungsoptik (9) mit einer ersten Fokusebene (20), einen Objekttisch (11) zum Haltern eines Objektes (3) und ein erstes Bewegungsmodul (30) zum relativen Bewegen von Objekttisch (11) und Abbildungsoptik (9) aufweist, wobei die Autofokuseinrichtung (1) ein Bildaufnahmemodul (9) mit einer zweiten Fokusebene, deren Lage relativ zur ersten Fokusebene bekannt ist, ein zweites Bewegungsmodul (30) zum relativen Bewegen von Objekttisch (11) und Bildaufnahmemodul (9), ein Fokusmodul zum Erzeugen eines zweidimensionalen, intensitätsmodulierten Fokussierbildes (19) in einer die zweite Fokusebene (20) schneidende Fokusmodulebene und ein Steuermodul (24) umfaßt, das zum Fokussieren der Abbildungsvorrichtung das Bildaufnahmemodul (9) ansteuert, das daraufhin während einer vorbestimmten Belichtungszeit ein zweidimensionales Bild des Objektes (3) zusammen mit dem Fokussierbild (19) aufnimmt, und wobei das Steuermodul (24) anhand des mittels dem Bildaufnahmemodul (9) aufgenommenen Bildes und unter Berücksichtigung der relativen Lage der ersten und zweiten Fokusebene die notwendigen Änderungen des Abstandes zwischen dem Objekttisch (11) und der Abbildungsoptik (9) ermittelt und das erste Bewegungsmodul (30) so ansteuert, daß die ermittelte Abstandsänderung durchgeführt wird, wobei das Steuermodul (24) das zweite Bewegungsmodul (30) so ansteuert, daß während der Belichtungszeit zur Aufnahme des Bildes der Objekttisch (11) relativ zum Bildaufnahmemodul (9) in einer Ebene parallel zur zweiten Fokusebene bewegt wird. |
