发明名称 Akustische Ultraschallemissionen zur Erfassung einer Substratfraktur
摘要 Ein Verfahren zur Erfassung einer Fraktur, wenn sie in einem Bauteil während eines Herstellungsverfahrens auftritt, umfasst die Anordnung eines akustischen Sensors in akustischer Verbindung mit dem Bauteil. Ein Herstellungsverfahren wird durchgeführt, während der akustische Sensor in akustischer Verbindung mit dem Bauteil bleibt. Ein Signal, welches akustische Emissionen von dem Bauteil während des Herstellungsverfahrens anzeigt, wird einer Regeleinrichtung zur Verfügung gestellt, in welcher auf der Basis des Signals bestimmt wird, ob das Bauteil zerbrochen wurde.
申请公布号 DE112011101809(T5) 申请公布日期 2013.03.14
申请号 DE201111101809T 申请日期 2011.05.13
申请人 TENNECO AUTOMOTIVE OPERATING COMPANY INC. 发明人 OLIVIER, KEITH G.;CUSTER, THOMAS
分类号 G01N29/04;G01B17/04;H01L21/66 主分类号 G01N29/04
代理机构 代理人
主权项
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