Verfahren und Anordnung zur Streulichtmessung

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anordnung zur Streulichtmessung. Hierzu wird eine Probe (17) mit Licht mindestens einer Lichtquelle (1, 2, 3) beleuchtet und ein an der Probe (17) gestreuter Anteil des Lichts als Messsignal von mindestens einem Detektor (18) unter einem Streuwinkel erfasst. Das auf die Probe (17) aufkommende Licht umfasst zwei Lichtkomponenten, welche sich in mindestens einem Parameter unterscheiden und welche mit unterschiedlichen Modulationssignalen moduliert werden. Ein Ausgangssignal des Detektors (18) wird durch Herausfiltern von zeitlich mit den verschiedenen Modulationssignalen korrelierten Anteilen des Ausgangssignals in mehrere Signalkanäle aufgeteilt, sodass jeder der genannten Lichtkomponenten mindestens einer der Signalkanäle eindeutig zugeordnet ist. Hierdurch wird es möglich, Streulichtmessungen mit einer hohen Dynamik und einem niedrigen Übersprechverhalten zwischen den einzelnen Signalkanälen durchzuführen.