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Die Erfindung betrifft ein Inspektionssystem, ein Inspektionsverfahren sowie ein Computerprogrammprodukt für die optische Untersuchung von Objektoberflächen, insbesondere von Waferoberflächen, auf Oberflächendefekte. Nach dem Inspektionsverfahren wird eines Bildes von der Objektoberfläche mittels einer Digitalkamera (101, 212, 222) aufgenommen, zusammenhängende Bildpunkte in dem Bild einem Defektfragment (301, 301', 302, 302', 401) zugeordnet, wenn deren Inhalte innerhalb eines bestimmten Wertebereiches liegen, Werten bestimmter Defektfragmenteigenschaften ermittelt, benachbarte Defektfragmenten (301, 301', 302, 302', 401) einem Defekt zugeordnet, wenn diese vorbestimmte Abstands- und/oder Formzusammenhänge aufweisen, Werten bestimmter Defekteigenschaften ermittelt und der Defektes einer vordefinierten Defektklasse anhand der ermittelten Defektfragmenteigenschaftswerte und/oder der ermittelten Defekteigenschaftswerte zugeordnet.
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