一种超净高纯氢氟酸的生产装置

摘要

本实用新型公开了一种超净高纯氢氟酸的生产装置，包括用于与氟化氢储罐相通的精馏塔釜，精馏塔釜底部设置有排渣口，精馏塔釜上部设置有连通的精馏塔，精馏塔的塔顶出料口设置有冷凝器，冷凝器的出料口通过管道与混合器的氢氟酸进料口相连通，混合器的塔底氢氟酸出料口与冷却器进料口相连通，冷却器的出料口依次与中间罐、耐酸泵、微滤器和成品罐相连通，微滤器和阀门之间的管道上设置有氢氟酸回流支管，氢氟酸回流支管上设置有阀门，设置支管的三通处与微滤器之间设置有阀门。该装置工艺流程合理、生产效率高、氢氟酸冷却效果好、产品质量稳定。

主权项

一种超净高纯氢氟酸的生产装置，其特征在于，所述生产装置包括用于与氟化氢储罐相通的精馏塔釜，所述精馏塔釜底部设置有排渣口，所述精馏塔釜上部设置有连通的精馏塔，所述精馏塔的塔顶出料口设置有冷凝器，所述冷凝器的出料口通过管道与混合器的氢氟酸进料口相连通，所述混合器的塔底氢氟酸出料口与冷却器进料口相连通，所述冷却器的出料口依次与中间罐、耐酸泵、微滤器和成品罐相连通，所述微滤器和阀门之间的管道上设置有氢氟酸回流支管，所述氢氟酸回流支管上设置有阀门，设置所述支管的三通处与微滤器之间设置有阀门。