晶圆盒抓扣器

摘要

本实用新型提供了一种晶圆盒抓扣器，包括缓冲卡座和抓扣片，所述抓扣片包括连接臂、第一弯折部与第二弯折部，所述连接臂的一端与操作臂的末端的立面外侧活动连接，所述连接臂的另一端与所述第一弯折部的一端连接，所述第一弯折部的另一端与所述第二弯折部的一端连接，所述第一弯折部相对所述连接臂朝所述缓冲卡座方向弯折，所述第二弯折部相对所述第一弯折部朝所述缓冲卡座方向弯折。本实用新型通过在抓扣片的末端增加一个弯折部，改变了抓扣片运输过程中的受力状况，有效地提升了抓扣器的抓扣能力，不仅如此，两个弯折部的设计使得抓扣器在长期的受力运动中不容易变形，进一步避免了晶圆盒脱落的风险。

主权项

一种晶圆盒抓扣器，安装于标准机械界面的操作臂上，包括缓冲卡座和抓扣片，所述缓冲卡座设置于操作臂的下表面，所述抓扣片设置于所述操作臂末端的立面外侧，其特征在于：所述抓扣片包括连接臂、第一弯折部与第二弯折部，所述连接臂的一端与操作臂的末端的立面外侧活动连接，所述连接臂的另一端与所述第一弯折部的一端连接，所述第一弯折部的另一端与所述第二弯折部的一端连接，所述第一弯折部相对所述连接臂朝所述缓冲卡座方向弯折，所述第二弯折部相对所述第一弯折部朝所述缓冲卡座方向弯折。