| 发明名称 |
APPARATUS FOR POSITIONING A MEMBER IN AN X-Y CO-ORDINATE POSITIONING SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB1203597(A) |
申请公布日期 |
1970.08.26 |
| 申请号 |
GB19670056033 |
申请日期 |
1967.12.08 |
| 申请人 |
ARBEITSSTELLE FUER MOLEKULAR ELEKTRONIK |
发明人 |
KURT WRESCHER;RENHARD SPRINGER |
| 分类号 |
G01B11/03;G05B19/21;G05B19/23;H01L21/68 |
主分类号 |
G01B11/03 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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