发明名称 |
去除LED衬底的方法及以其方法制得的LED芯片 |
摘要 |
本发明涉及去除LED衬底的方法及以其方法制得的LED芯片,涉及LED基片的去除加工方法,其包括如下步骤:制作治具并将LED芯片放入治具固定位置;设置喷砂机,移动喷砂机的喷嘴正对需要去除衬底的LED衬底表面;选用目数为200~400的砂进行粗喷砂;对粗喷砂后的LED衬底表面进行吹砂及砂粒的回砂;选用目数为500~650的砂进行细喷砂;对细喷砂后的LED衬底表面进行吹砂及砂粒的回砂;判断LED衬底是否已去除。本发明应用喷砂技术的方式对LED的衬底进行减薄、去除并同时表面粗化,其利用二次喷砂的方式,第一次使用粗喷砂,对初始较厚的衬底先进行较大幅度的减薄步骤,在去除时需要保证最后其表面无残留,因而需要切换为更细的砂粒。而且使用成本与现有的研磨工具相比,其更加低廉,大大降低成本投入。 |
申请公布号 |
CN102962773A |
申请公布日期 |
2013.03.13 |
申请号 |
CN201210353810.6 |
申请日期 |
2012.09.21 |
申请人 |
沈李豪 |
发明人 |
沈李豪 |
分类号 |
B24C1/08(2006.01)I;H01L33/00(2010.01)I |
主分类号 |
B24C1/08(2006.01)I |
代理机构 |
东莞市冠诚知识产权代理有限公司 44272 |
代理人 |
张作林 |
主权项 |
一种去除LED衬底的方法,其特征在于,包括如下步骤:S1.制作治具并将LED芯片放入治具固定位置;S2.设置喷砂机,移动喷砂机的喷嘴正对需要去除衬底的LED衬底表面;S3.选用目数为200~400的砂进行粗喷砂;S4.对粗喷砂后的LED衬底表面进行吹砂及砂粒的回砂;S5.选用目数为500~650的砂进行细喷砂;S6.对细喷砂后的LED衬底表面进行吹砂及砂粒的回砂。 |
地址 |
523000 广东省东莞市黄江镇江北路2巷6号东莞黄江通达电路制板厂 |