一种用于检测颗粒过滤器中气相污染物的装置

摘要

本实用新型公开了一种用于检测颗粒过滤器中气相污染物的装置，包括一洁净空间、洁净空间的顶部设有气相过滤器、颗粒过滤器和风机；洁净空间的底部设有一出气空间，洁净空间和出气空间的侧面设有一循环空间；洁净空间、出气空间和循环空间之间均设有气体通道，在循环空间内设有第二风机，使洁净空间、出气空间和循环空间构成一空气循环系统；所述出气空间内设有气体采样器，该气体采样器与气体检测器连通。本实用新型设计得到了一种专用于颗粒过滤器中的气相污染物的检测装置，可以检测确定其中是否含有腐蚀性气体，这对于一些生产电子产品的无尘室而言，尤其具有积极的现实意义。

主权项

一种用于检测颗粒过滤器中气相污染物的装置，其特征在于：包括一洁净空间(1)、洁净空间的顶部设有气相过滤器(2)、颗粒过滤器(3)和风机(4)；洁净空间的底部设有一出气空间(5)，洁净空间和出气空间的侧面设有一循环空间(6)；洁净空间、出气空间和循环空间之间均设有气体通道，在循环空间内设有第二风机(7)，使洁净空间、出气空间和循环空间构成一空气循环系统；所述出气空间内设有气体采样器(8)，该气体采样器与气体检测器连通。