靶材检测夹具

摘要

一种靶材检测夹具，包括：底座；定位部，设置于所述底座上，所述定位部具有凹槽，所述凹槽的开口方向与所述底座相背，所述凹槽的侧壁形状与带检测靶材的侧面形状相吻合，在将待检测靶材置于所述凹槽时，所述待检测靶材的部分侧面与所述凹槽侧壁贴合；保护部，包括第一保护部和第二保护部，所述第一保护部设置在所述待检测靶材的溅射面一侧，所述第二保护部设置在与所述待检测靶材溅射面相对的一侧，防止置于所述凹槽的待检测靶材侧倒。使用本实用新型的靶材检测夹具可以提高检测效率，而且检测结果精准，进而使得靶材在真空溅射前能够准确安装至溅射基台上和提高基片在真空溅射后的表面镀膜质量。

主权项

一种靶材检测夹具，其特征在于，包括：底座；定位部，设置于所述底座上，所述定位部具有凹槽，所述凹槽的开口方向与所述底座相背，所述凹槽的侧壁形状与带检测靶材的侧面形状相吻合，在将待检测靶材置于所述凹槽时，所述待检测靶材的部分侧面与所述凹槽侧壁贴合；保护部，包括第一保护部和第二保护部，所述第一保护部设置在所述待检测靶材的溅射面一侧，所述第二保护部设置在与所述待检测靶材溅射面相对的一侧，防止置于所述凹槽的待检测靶材侧倒。