光学单元、照明光学装置、曝光装置、曝光方法以及元件制造方法

摘要

光学单元(3)，其具备：第1光路，可配置具有二维排列并可个别控制的多个光学元件(36a)的空间调变元件(36)；第2光路，具有供于表面具有既定固定图案的角度分布赋予元件(5)插入的机构；以及第3光路，经过该第1光路及该第2光路的两者的光的光路。在角度分布赋予元件(5)插入该第2光路时，根据射入该角度分布赋予元件(5)的光对射出的光赋予角度分布。

主权项

一种光学单元，其特征在于，具备：光分割器，将射入光束分割成沿着第1光路行进的第1光束、及沿着与该第1光路不同的第2光路行进的第2光束；空间调变元件，配置在该第1光路，具有二维排列并可个别控制的多个光学元件；以及第3光路，经过该第1光路的第1光束及经过该第2光路的第2光束的光路；该第2光路具有供表面具有既定固定图案的角度分布赋予元件插入的机构；在该角度分布赋予元件插入该第2光路时，根据射入该角度分布赋予元件的光对射出的光赋予角度分布。