玻璃基板的刻划方法及加工装置

摘要

本发明提供一种玻璃基板的刻划方法及加工装置，用于对强化玻璃容易且稳定地形成期望的刻划槽，防止自然分割。该刻划方法是对表面具备带有压缩应力的强化层的玻璃沿刻划预定线进行刻划的方法，包含第1～第3工序。第1工序中，将玻璃载置到具有保持基板用的多个吸附孔的工作台，并且，利用比玻璃的刻划预定线上的部强的吸附压吸附玻璃的位于刻划预定线的终端部侧位置的玻璃端部。第2工序中，在玻璃的表面形成初始龟裂。第3工序中，对玻璃的表面照射激光进行加热，并且对被加热的区域进行冷却，使龟裂沿着刻划预定线发展而形成刻划槽。

主权项

一种玻璃基板的刻划方法，该刻划方法用于对表面具备带有压缩应力的强化层的玻璃沿刻划预定线进行刻划，所述玻璃基板的刻划方法的特征在于，所述玻璃基板的刻划方法包括：第1工序，在该第1工序中，将玻璃载置到具有保持基板用的多个吸附孔的工作台，并且，利用比玻璃的刻划预定线上的中央部强的吸附压来吸附玻璃的位于刻划预定线的终端侧的玻璃端部；第2工序，在该第2工序中，在玻璃的表面形成初始龟裂；以及第3工序，在该第3工序中，对玻璃的表面照射激光以进行加热，并且对被加热的区域进行冷却，使龟裂沿着刻划预定线发展而形成刻划槽。