微机械结构元件及其制造方法

摘要

本发明涉及微机械结构元件，其包括基件、具有导电材料的偏转件和偏转件绝缘部，该偏转件绝缘部使偏转件的第一与第二区段相互电绝缘。柔性的、导电的第一连接元件使基件与第一偏转件区段连接，柔性的、导电的第二连接元件使基件与第二偏转件区段连接。还涉及一种用于制造微机械结构元件的方法，该方法包括以下步骤：提供具有导电的覆盖层的衬底晶片，在覆盖层中蚀刻绝缘沟，该绝缘沟使覆盖层的第一区段与第二区段相互绝缘，以及由衬底晶片构成基件和包括覆盖层的第一区段和第二区段的偏转件，留下柔性的、导电的第一连接元件和柔性的、导电的第二连接元件，该第一连接元件使基件与第一偏转件区段连接，该第二连接元件使基件与第二偏转件区段连接。

主权项

微机械结构元件(100)，具有：基件(102)，具有由衬底(304)构成的板电极(142)；偏转件(104)，该偏转件具有由所述衬底(304)构成的另外的板电极(140)并且具有一个位于该衬底上的绝缘层(302)和一个位于该绝缘层(302)上的、由导电材料(300)制成的覆盖层(300)；偏转件绝缘部(106)，该偏转件绝缘部使所述偏转件(104)的覆盖层(300)的第一区段(108)与第二区段(110)相互电绝缘；柔性的、导电的第一连接元件(112)，该第一连接元件使所述基件(102)与所述第一区段(108)连接；和柔性的、导电的第二连接元件(114)，该第二连接元件使所述基件(102)与所述第二区段(110)连接，其中，在所述偏转件(104)的覆盖层(300)上构成一个导体线路(164)，其中，该导体线路(164)通过一个下置的导体线路绝缘层(306)与所述覆盖层(300)电绝缘，其中，该导体线路绝缘层(306)在第一区段(108)中在一个覆盖层接触位置(172)上中断，使得该导体线路(164)接触第一区段(108)，及其中，在一个衬底接触位置(170)上在该覆盖层(300)中蚀刻出一个漏斗形凹槽(174)，及该导体线路绝缘层(306)和该绝缘层(302)在该漏斗形凹槽(174)的中心中断，使得该导体线路(164)接触所述另外的板电极(140)。