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经营范围
发明名称
FABRICATION OF NANOMETER AND MICROMETER STRUCTURES WITH CONTINUOUS RELIEFS
摘要
申请公布号
EP2567290(A1)
申请公布日期
2013.03.13
申请号
EP20110717604
申请日期
2011.04.29
申请人
PAUL SCHERRER INSTITUT
发明人
SCHIFT, HELMUT;SCHLEUNITZ, ARNE
分类号
G03F7/00
主分类号
G03F7/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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