发明名称 |
钽酸钠薄膜紫外光探测器及其制备方法 |
摘要 |
本发明属于半导体光电探测技术领域,具体涉及一种以NaTaO3薄膜为基体材料,以Au、Pt或Ni为金属电极的NaTaO3薄膜紫外光探测器及其制备方法。其是在金属钽片上生长一层NaTaO3薄膜,进而通过磁控溅射技术在覆盖有掩膜板的NaTaO3薄膜上溅射一层金属,掩膜板上具有插指电极结构,据此在薄膜上形成金属插指状电极;本发明制备的NaTaO3薄膜紫外光探测器具有制备方法简单,成本低廉,有望大规模生产的特点,对波长220nm-330nm的紫外线具有良好的检测性能。 |
申请公布号 |
CN102368508B |
申请公布日期 |
2013.03.13 |
申请号 |
CN201110339162.4 |
申请日期 |
2011.11.01 |
申请人 |
吉林大学 |
发明人 |
阮圣平;张敏;张海峰;刘彩霞;冯彩慧;周敬然;陈维友 |
分类号 |
H01L31/09(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;C23C22/64(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/09(2006.01)I |
代理机构 |
长春吉大专利代理有限责任公司 22201 |
代理人 |
张景林;刘喜生 |
主权项 |
一种采用水热合成法制备的NaTaO3薄膜紫外光探测器,其特征在于:从下至上依次由金属钽片(1)衬底,采用水热合成法在金属钽片上生长的NaTaO3薄膜(2),在NaTaO3薄膜上采用磁控溅射法制备的Au、Pt或Ni金属插指电极(3)组成,待探测的紫外光(4)从金属插指电极(3)的上方入射。 |
地址 |
130012 吉林省长春市前进大街2699号 |