一种防止半导体激光加工机光反馈的方法

摘要

本发明涉及一种防止半导体激光加工机光反馈的方法，包括以下步骤：在一个半导体激光叠阵前设置与光路成45°设置的反射棱镜； 在另外一个半导体激光叠阵前分别依次设置：与光路成45°设置的波长合束棱镜和偏振分光棱镜，以及与垂直于光路设置的四分之一波片和聚焦镜；一个半导体激光叠阵发出的光经过所述反射棱镜后传播方向旋转90°；另外一个半导体激光叠阵发出的光直接入射到所述波长合束棱镜上，两束激光通过波长合束棱镜进行合束；合束后的光束沿半导体激光叠阵的激光发出方向传播，通过偏振分光棱镜和四分之一波片后，经聚焦镜进行聚焦。本发明的方法可以有效地减少激光器内部及腔面膜的损伤，提高激光器的使用寿命。

主权项

一种防止半导体激光加工机光反馈的方法，该半导体激光加工机包括：同向并列设置的两个不同波长、同一偏振态的半导体激光叠阵（1，1’），两个所述半导体激光叠阵（1，1’）分别发出波长为λ1和λ2的P或S偏振态激光束；其特征在于，该方法包括以下步骤：步骤i：在一个所述半导体激光叠阵（1）前设置与光路成45°设置的反射棱镜（3）； 在另外一个所述半导体激光叠阵（1’）前分别依次设置：与光路成45°设置的波长合束棱镜（4）和偏振分光棱镜（5），以及与垂直于光路设置的四分之一波片（6）和聚焦镜（7）；步骤ii：一个所述半导体激光叠阵（1）发出的光经过所述反射棱镜（3）后传播方向旋转90°；另外一个所述半导体激光叠阵（1’）发出的光直接入射到所述波长合束棱镜（4）上，两束激光通过波长合束棱镜（4）进行合束；步骤iii：合束后的光束沿半导体激光叠阵（1，1’）的激光发出方向传播，通过偏振分光棱镜（5）和四分之一波片（6）后，经聚焦镜（7）进行聚焦。