背面钝化晶体硅太阳能电池的制备方法

摘要

本发明涉及晶体硅太阳能电池制备领域，具体涉及一种背面钝化晶体硅太阳能电池的制备方法，包括以下步骤：（1）将石墨舟中的石墨挡板进行加工，形成镂空的网状结构；（2）将硅片经制绒、扩散制作PN结、周边刻蚀、去除磷硅玻璃后装在硅片花篮里等待镀膜；（3）将经过步骤（2）处理后的硅片装在步骤（1）加工后的石墨舟中，使得硅片背面贴紧石墨挡板，且使用镀膜设备对硅片背面无遮挡区域和正面同时镀上氮化硅薄膜；（4）将步骤（3）中两面都镀好膜的硅片进行丝网印刷背面电极、背面电场和正面电极，然后共烧结，制作成背面钝化晶体硅太阳电池。采用以上方法成本低、重复性好、适合工业化批量生产。

主权项

一种背面钝化晶体硅太阳能电池的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：（1）将石墨舟中的石墨挡板进行加工，形成镂空的网状结构；（2）将硅片经制绒、扩散制作PN结、周边刻蚀、去除磷硅玻璃后装在硅片花篮里等待镀膜；（3）将经过步骤（2）处理后的硅片装在步骤（1）加工后的石墨舟中，使得硅片背面贴紧石墨挡板，且使用镀膜设备对硅片背面无遮挡区域和正面同时镀上氮化硅薄膜；（4）将步骤（3）中两面都镀好膜的硅片进行丝网印刷背面电极、背面电场和正面电极，然后共烧结，制作成背面钝化晶体硅太阳电池。