同轴电缆接头、组合结构及等离子体处理装置

摘要

本实用新型涉及一种同轴电缆接头、组合结构及等离子体处理装置。一种同轴电缆接头，包括接头本体、第一绝缘件、第二绝缘件、导体插件、导体接头、接地导电板以及标准压接件，同轴电缆中的内导体整体嵌入导体插件内部并与其连接，导体接头上端部连接射频电极，其下端部包覆导体插件；接地导电板紧靠接头本体设置，环绕第一绝缘件并接地；标准压接件设置于接头本体下端部，用于使接头本体和同轴电缆外导体连接；接头本体上表面临近接地导电板处设有一凹槽，该凹槽内设有一接地垫圈，其高度超出凹槽的深度，该接地垫圈分别与接头本体和接地导电板电连接。本实用新型可以保证同轴电缆接头接地良好，实现了对通过同轴电缆的高频信号更好的屏蔽效果。

主权项

一种同轴电缆接头，用于将直流高压电源通过同轴电缆(200)连接到射频电极，包括接头本体(101)、第一绝缘件(102)、第二绝缘件(103)、导体插件(104)、导体接头(105)、接地导电板(106)以及标准压接件(107)，所述同轴电缆(200)中的内导体(201)整体嵌入导体插件(104)内部并与其连接，所述导体接头(105)上端部连接射频电极，其下端部包覆导体插件(104)；所述导体插件(104)包括从上向下垂直分布的第一、第二和第三插件部(1041、1042、1043)，所述第一插件部(1041)嵌入导体接头(105)下部，所述第二插件部(1042)上下承接第一插件部(1041)和第三插件部(1043)，其外部包覆有第一绝缘件(102)，所述第三插件部(1043)外部依次包覆有第二绝缘件(103)和第一绝缘件(102)；所述第二绝缘件(103)下部嵌入接头本体(101)，所述第一绝缘件(102)从上向下分别包覆导体接头(105)下端部、导体插件(104)的第二插件部(1042)和第二绝缘件(103)上端部；所述接地导电板(106)紧靠接头本体(101)设置，环绕所述第一绝缘件(102)并接地；所述标准压接件(107)设置于接头本体(101)下端部，用于使所述接头本体(101)和同轴电缆外导体连接；其特征在于，所述接头本体(101)上表面临近接地导电板(106)处设有一凹槽，该凹槽内设有一接地垫圈(108)，其高度超出所述凹槽的深度，该接地垫圈(108)分别与所述接头本体(101)和接地导电板(106)电连接。