| 发明名称 | 靶罩 | ||
| 摘要 | 本实用新型是提供一种能够改变溅射区域、通用性好的靶罩。该靶罩，包括罩壳和挡板；罩壳包括面板和在面板两侧的侧板，面板上开有溅射孔，设置在面板上、向上延伸的两块相对的翼板位于溅射孔两侧；挡板可移动地设置在面板上，挡板的一部分位于溅射孔的上方。 | ||
| 申请公布号 | CN202786402U | 申请公布日期 | 2013.03.13 |
| 申请号 | CN201220483202.2 | 申请日期 | 2012.09.21 |
| 申请人 | 南京汇金锦元光电材料有限公司 | 发明人 | 杜杰;王建华;王鲁南;项宏其;窦立峰 |
| 分类号 | C23C14/04(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人 | 汤东凤 |
| 主权项 | 靶罩，其特征是：包括罩壳和挡板；罩壳包括面板和在面板两侧的侧板，面板上开有溅射孔，设置在面板上、向上延伸的两块相对的翼板位于溅射孔两侧；挡板可移动地设置在面板上，挡板的一部分位于溅射孔的上方。 | ||
| 地址 | 210046 江苏省南京市栖霞区兴学路9号 | ||