一种同时测量激光器输出单脉冲能量和波形的方法

摘要

本发明公开了一种同时测量激光器输出单脉冲能量和波形的方法，该方法包括以下步骤：设计检测光路、光电探测器标定和实际检测；由光电探测器采集多组对应于不同能量的脉冲波形，由标定光路能量检测系统测量相应能量；计算机首先对实测波形进行预处理，剔除背景噪声，然后对处理后波形进行积分，获得波形曲线与时间横轴之间的面积积分值，最后拟合面积积分值和实测能量值之间的关系曲线，作为光电探测器的标定曲线。在实际检测过程中，计算机对实测脉冲剔除背景噪声并积分，得到面积积分值，然后通过在标定曲线中插值，可得脉冲能量。该发明用一个传感器测量多个激光器参数，简化了测量系统，节约了成本，适用于需要实时监测激光器输出能量和波形的场合。

主权项

一种同时测量激光器输出单脉冲能量和波形的方法，其特征在于包括以下步骤：设计检测光路、光电探测器标定和实际检测；所述检测光路是将激光器（1）的输出光经过采样系统（2）后，一路能量辐照于标定光路能量检测系统（3），另一路能量经衰减片（4）后，辐照于光电探测器（5）；计算机（6）与所述标定光路能量检测系统（3）和所述光电探测器（5）连接;所述光电探测器标定是光电探测器（5）采集多组激光器输出脉冲波形，标定光路能量检测系统（3）采集所述脉冲波形对应的能量值；所述计算机（6）对所述脉冲波形预处理后，进行积分处理，获得波形曲线与时间横轴之间的面积积分值，并拟合面积积分值与对应的能量值之间的标定曲线，所得拟合曲线的横坐标为面积积分值，纵坐标为能量值；所述实际检测是将所述标定光路能量检测系统（3）换成实际应用系统（7）；计算机（6）对光电探测器（5）实时采集激光器输出脉冲波形预处理后，进行积分处理，获得波形曲线与时间横轴之间的面积积分值，并通过在所述标定曲线中插值得到能量值。