| 发明名称 |
Vacuum coating installation and method of producing a coating layer on a substrate. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2090674(B1) |
申请公布日期 |
2013.03.13 |
| 申请号 |
EP20080100933 |
申请日期 |
2008.01.25 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
LOTZ, HANS-GEORG;SAUER, PETER |
| 分类号 |
C23C14/56;C23C14/54;C23C16/52;C23C16/54 |
主分类号 |
C23C14/56 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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