一种Z-θx-θy三自由度纳米级精度两体式工作台

摘要

本发明公开了一种Z-θx-θy三自由度纳米级精度两体式工作台，包括：压电陶瓷驱动器、压电陶瓷驱动器螺钉、压电陶瓷驱动器端盖、压电陶瓷驱动器端盖螺钉、外筒、柔性铰链与外筒螺钉、柔性铰链、柔性铰链与工作台螺钉、工作台。本发明结构紧凑，可实现Z-θx-θy三自由度纳米级精度的无耦合运动或定位，由于采用了柔性机构与工作台两体式的结构，使得加工工艺性更好；且二者可采用不同的材料，以加强或降低某部分刚度；此外，柔性机构对工作台的着力点可按需设计，防止有害力矩产生。

主权项

一种Z‑θx‑θy三自由度纳米级精度两体式工作台，其特征在于包括：压电陶瓷驱动器（1）、压电陶瓷驱动器螺钉（2）、压电陶瓷驱动器端盖（3）、压电陶瓷驱动器端盖螺钉（4）、外筒（5）、柔性铰链与外筒螺钉（6）、柔性铰链（7）、柔性铰链与工作台螺钉（8）、工作台（9）；所述柔性铰链（7）与工作台（9）采用两体式结构，可分开加工；其中，工作台（9）一面圆周均布三支柔性铰链（7），并通过柔性铰链与工作台螺钉（8）使柔性铰链（7）与工作台（9）相连接；柔性铰链（7）通过柔性铰链与外筒螺钉（6）与外筒（5）相连接；工作台（9）另一面圆周均布三支压电陶瓷驱动器（1），压电陶瓷驱动器（1）与工作台（9）接触位置对应于柔性铰链（7）与工作台（9）连接处；压电陶瓷驱动器（1）通过压电陶瓷驱动器螺钉（2）将其固定在压电陶瓷驱动器端盖（3）上；通过压电陶瓷驱动器端盖螺钉（4），将端盖固定在外筒（5）上。