微晶玻璃抛光液的制备方法

摘要

本发明涉及一种微晶玻璃的抛光液制备，该方法根据微晶玻璃能和碱发生化学反应，抛光液选用碱性抛光液。该抛光液选用纳米SiO2磨料，磨料的浓度为4-50wt%，粒径15-45nm，以利于材料的去除及表面平整化。抛光液的pH值9-13，既能满足有效去除，也能保证硅溶胶的稳定性。制备过程中采用负压搅拌制备法，避免了传统的复配、机械搅拌等制备方法带来的有机物、大颗粒、金属离子等的污染，可以达到超净的要求；并可实现纳米SiO2磨料高浓度、高pH值条件下不凝聚、不溶解。利用该抛光液的配制方法，可实现微晶玻璃表面的高精密加工。并能满足工业上对微晶玻璃抛光精密加工的要求；可明显改善器件性能，提高成品率。该方法操作简单、成本低、低粗糙、高速率、无污染。

主权项

一种微晶玻璃抛光液的制备方法，其特征在于实施步骤如下：以下均按重量%计：（1）将磨料碱性纳米SiO2水溶胶在负压下形成涡流吸入负压反应釜；所述磨料重量浓度为4‑50wt%，加入量是所配抛光液总重量的20‑86%；（2）用负压向反应釜中吸入去离子水，加入量是所配抛光液总重量的5‑75%； （3）在负压涡流状态下逐渐加入胺碱为1‑5%，胺碱调节pH值为9‑13； （4）在负压涡流状态下逐渐加入FA/OII型螯合剂为0.25‑2%；（5）在负压涡流状态下逐渐加入FA/OII型活性剂为0.25‑2%； （6）充分搅拌均匀后进行灌装。