发明名称 一种紫外二维全谱高分辨光学系统
摘要 一种紫外二维全谱高分辨光学系统,光学系统设计、光学仪器技术领域。该系统包括光源、滤波片切换装置、准直镜、聚光镜、入射狭缝、入射狭缝、全息光栅、中阶梯光栅、面阵CCD。所有组件通过定位底座固定在光学平台上相互连接,以保证各个组件的空间相对位置。利用滤波片将光谱范围分成120-240nm和240-480nm分时复用的两部分;利用衍射级次共用的设计思想,设计低色散全息凹面准直分光光栅代替传统系统中的准直镜和棱镜;全谱消像差光路设计;在不降低光学系统性能的前提下,将成本高的大面阵二维CCD探测器的成像面积缩小到原来的四分之一。该系统具有宽谱像差校正、高分辨、高光通量、全谱二维成像的显著优点。
申请公布号 CN102967367A 申请公布日期 2013.03.13
申请号 CN201210518400.2 申请日期 2012.12.05
申请人 钢研纳克检测技术有限公司 发明人 武建芬;周超
分类号 G01J3/02(2006.01)I;G02B27/44(2006.01)I;G02B7/00(2006.01)I 主分类号 G01J3/02(2006.01)I
代理机构 北京华谊知识产权代理有限公司 11207 代理人 刘月娥
主权项 一种紫外二维全谱高分辨光学系统,其特征是,包括光源(1)、滤波片切换装置(2)、准直镜(3)、聚光镜(4)、入射狭缝(5)、入射狭缝(5)、全息光栅(6)、中阶梯光栅(7)、面阵CCD(9) ;光源(1)为系统的原点,通过夹紧装置固定在光学平台上,滤波片切换装置(2)通过定位底座固定在光学平台上,保证其与光源(1)的相对位置,光源(1)发射出的原子多色光谱经过分时复用的滤波片切换装置(2)后被分成120‑240nm和240‑480nm的两个光谱波段,出射的光直线传播到偏转角度为5°的准直镜(3)上,准直镜(3)通过定位底座固定在光学平台上,保证其与滤波片切换装置(2)的相对位置,准直镜(3)将经过滤波片切换装置(2)的入射光进行准直变成平行光,并使传播角度偏转10°后反射,反射后的平行光直线传播到第一聚焦镜(4)上,第一聚焦镜(4)通过定位底座固定在光学平台上,保证其与准直镜(3)的相对位置,第一聚焦镜(4)将由准直镜(3)反射的平行光变成会聚光,并使传播角度偏转‑10°后直线传播,最后会聚到入射狭缝(5)处,入射狭缝(5)为一个中心有孔的薄片,通过镜筒和夹紧装置固定在光学平台上,保证其与第一聚焦镜(4)的相对位置;入射狭缝(5)为点光源,入射狭缝(5)发射的光直线传播到凹面全息光栅(6)上,凹面全息光栅(6)通过二维调整架和定位底座固定在光学平台上,以保证它与入射狭缝(5)的相对位置;凹面全息光栅(6)兼有球面反射镜和光栅的作用,它将入射狭缝(5)发出的光反射后变为平行光,并使该平行光传播角度偏转10°,该平行光直线传播到中阶梯光栅(7)上,中阶梯光栅(7)通过三维调整装置和定位底座固定在光学平台上,以保证它与凹面全息光栅(6)的相对位置;中阶梯光栅(7)将入射的平行光反射后进行色散分光,使不同波长的光偏转不同的角度后直线传播,这些平行光直线传播到第二聚焦镜(8)上,第二聚焦镜(8)通过二维调整架和定位底座固定在光学平台上,以保证它与中阶梯光栅(7)的相对位置;第二聚焦镜(8)将中阶梯光栅(7)反射的色散平行光变为会聚光,并使传播角度偏转‑10°后反射,反射后的会聚光直线传播,最后成像在面阵CCD(9)上,面阵CCD(9) 通过夹紧定位装置固定在光学平台上,以保证它与第二聚焦镜(8)的相对位置,面阵CCD(9)将入射的光谱信号转换成数字信号传给计算机。
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