空间上修改光的偏振状态

摘要

描述了被配置用于通过将校正应用到例如具有已经被改变(无意地或其它)为空间上非均匀的空间上均匀的偏振状态分布的光束来输出具有空间上均匀的偏振状态分布的光的系统和方法。投影系统可以包括光学元件和偏振改变光学器件(PAD)。光学元件可以使投影系统中的光偏振是空间上非均匀的。PAD可以基于由光学元件引起的以及在光进入光学元件之前光上的空间非均匀性的量空间上改变光的偏振状态分布。投影系统可以输出具有空间上均匀的偏振状态分布的光。

主权项

一种光学系统，包括：光学元件，配置为使所述光学系统中的光的偏振状态分布改变自预定的偏振状态分布；以及偏振改变光学器件(PAD)，配置为基于由所述光学元件所引起的所述偏振状态分布的改变量而在空间上改变所述光的所述偏振状态分布，其中所述光学系统配置为输出具有所述预定的偏振状态分布的所述光。