一种绒面黑硅材料的制备方法

摘要

本发明提供了一种绒面黑硅材料的制备方法，包括粗糙工艺步骤和之后的黑硅层制备步骤，所述粗糙工艺步骤包括以下步骤：将聚苯乙烯颗粒小球分散在水中，在水面上形成单层小球膜；通过捞膜的方法将所述单层小球膜附着于硅片上；对附着有单层聚苯乙烯小球膜的硅片表面进行反应离子刻蚀，使在硅片上形成周期性的微结构。根据本发明的制备方法，可以在硅衬底上得到绒面结构的黑硅材料，可以广泛应用于太阳能电池及光电效应器件的制备。

主权项

一种绒面黑硅材料的制备方法,包括粗糙工艺步骤和之后的黑硅层制备步骤，其特征在于，所述粗糙工艺步骤包括以下步骤：将聚苯乙烯小球颗粒分散在水中，在水面形成单层聚苯乙烯小球膜；通过捞膜的方法将所述单层聚苯乙烯小球膜附着于硅片上；对附着有单层聚苯乙烯小球膜的硅片表面进行反应离子刻蚀，直至单层聚苯乙烯小球膜被完全刻蚀时停止所述反应离子刻蚀，使硅片上形成周期性的微结构。