铜互连后清洗机（300mm）

摘要

1.本外观设计产品的名称：铜互连后清洗机（300mm）。2.本外观设计产品的用途：用于铜工艺的互连阶段，多孔性low-k介质材料集成的清洗。主要去除光刻胶残留、颗粒、通孔内的有机聚合物以及硅片边沿和背面的铜金属。3.本外观设计的设计要点：在于产品的整体形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。5.本外观设计中仰视图无设计要点，故省略。