发明名称 一种盘状物夹持装置
摘要 本实用新型涉及一种夹持装置,公开了一种盘状物夹持装置,该夹持装置包括卡盘、所述卡盘盘面上放置盘状物,所述卡盘盘面的周向上设有多个机械式夹持元件,所述卡盘内部设有驱动机构,所述驱动机构与多个所述夹持元件连接,用于驱动夹持元件进行自旋转运动进而夹持或取放盘状物,多个夹持元件所构成的有效夹持面与盘状物的形状相匹配。本实用新型采用驱动机构驱动夹持元件进行自旋转并对盘状物进行夹持和取放,该结构简单,在夹持盘状物的过程中不会对盘状物产生污染;进一步地,夹持头与卡盘盘面的夹角小于90°的一侧,用于夹持盘状物,避免在夹持过程中盘状物掉落而受到损坏,其与卡盘盘面的夹角大于或等于90°的另一侧,用于取放盘状物。
申请公布号 CN202796898U 申请公布日期 2013.03.13
申请号 CN201220394803.6 申请日期 2012.08.09
申请人 北京七星华创电子股份有限公司 发明人 高浩;张豹
分类号 H01L21/687(2006.01)I 主分类号 H01L21/687(2006.01)I
代理机构 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人 韩国胜
主权项 一种盘状物夹持装置,其特征在于,包括卡盘,所述卡盘盘面上放置盘状物,所述卡盘盘面的周向上设有多个机械式夹持元件,所述卡盘内部设有驱动机构,所述驱动机构与多个所述夹持元件连接,用于驱动所述夹持元件进行自旋转运动进而夹持或取放盘状物,多个所述夹持元件所构成的有效夹持面与盘状物的形状相匹配。
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