一种用于氦质谱检漏的抽空加压装置

摘要

本实用新型公开了一种用于氦质谱检漏的抽空加压装置，包括有真空气泵，真空气泵与真空减压阀的出气口相连，真空减压阀的进气口与抽空阀的出气口相连，抽空阀的进气口再与充气阀的出气口和微调阀的进气口相连，微调阀的出气口与保压阀的一端相连，保压阀的另一端与绝压变送器和通过密封盒的接口与工件相连，工件在密封盒内部，密封盒的另一端接口与检漏阀的进气口相连，检漏阀的出气口与吸枪口套相连，吸枪的吸枪口与吸枪口套相连，吸枪的出气口与氦质谱检漏仪相连。本实用新型结构简单，所用材料为常规材料，成本低，解决了一些特殊工件需要检测泄漏率与在一定时间内检测泄漏气体总量的检测要求。

主权项

一种用于氦质谱检漏的抽空加压装置，其特征在于：包括有真空气泵，真空气泵与真空减压阀的出气口相连，真空减压阀的进气口与抽空阀的出气口相连，抽空阀的进气口再与充气阀的出气口和微调阀的进气口相连，微调阀的出气口与保压阀的一端相连，保压阀的另一端与绝压变送器和通过密封盒的接口与工件相连，工件在密封盒内部，密封盒的另一端接口与检漏阀的进气口相连，检漏阀的出气口与吸枪口套相连，吸枪的吸枪口与吸枪口套相连，吸枪的出气口与氦质谱检漏仪相连。