发明名称 | 石墨工艺钉 | ||
摘要 | 本实用新型涉及一种石墨工艺钉,其中部为圆柱结构,其上部和下部设有上突台和下突台,上突台和下突台上分别开有上卡槽和下卡槽。本实用新型结构简单,容易加工;圆柱型开有卡槽的突台,方便硅片的安装,无需调整突台的角度,安装效率高。 | ||
申请公布号 | CN202796900U | 申请公布日期 | 2013.03.13 |
申请号 | CN201220406032.8 | 申请日期 | 2012.08.15 |
申请人 | 常州市立新石墨有限公司 | 发明人 | 吴建洪 |
分类号 | H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/687(2006.01)I |
代理机构 | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人 | 金辉 |
主权项 | 一种石墨工艺钉,其中部为圆柱结构(1),其上部和下部设有上突台(2)和下突台(3),其特征在于:上突台(2)和下突台(3)上分别开有上卡槽(4)和下卡槽(5)。 | ||
地址 | 213102 江苏省常州市武进区遥观镇薛墅巷村 |