发明名称 石墨工艺钉
摘要 本实用新型涉及一种石墨工艺钉,其中部为圆柱结构,其上部和下部设有上突台和下突台,上突台和下突台上分别开有上卡槽和下卡槽。本实用新型结构简单,容易加工;圆柱型开有卡槽的突台,方便硅片的安装,无需调整突台的角度,安装效率高。
申请公布号 CN202796900U 申请公布日期 2013.03.13
申请号 CN201220406032.8 申请日期 2012.08.15
申请人 常州市立新石墨有限公司 发明人 吴建洪
分类号 H01L21/687(2006.01)I 主分类号 H01L21/687(2006.01)I
代理机构 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 代理人 金辉
主权项 一种石墨工艺钉,其中部为圆柱结构(1),其上部和下部设有上突台(2)和下突台(3),其特征在于:上突台(2)和下突台(3)上分别开有上卡槽(4)和下卡槽(5)。
地址 213102 江苏省常州市武进区遥观镇薛墅巷村