波长可变滤波器、波长可变滤波器模块及光谱分析器

摘要

本发明的目的在于提供可以在降低驱动电压的同时，对宽范围的波长的光使用的光学设备、波长可变滤波器、波长可变滤波器模块及光谱分析器。本发明的光学设备(1)为可以通过在驱动电极和可动部(21)之间产生电位差，而在它们之间产生静电引力，使可动部(21)的位置及/或姿势变化，在固定反射膜(35)和可动反射膜(25)之间反复进行光反射，产生光干涉，并向外部射出与它们之间距离对应的波长的光的结构，驱动电极具有隔着间隔与可动部(21)的固定反射膜(35)侧的面对置的第一驱动电极(33)、和隔着间隔与可动部(21)的位于可动反射膜(25)相反侧的面对置的第二驱动电极(43)。

主权项

一种波长可变滤波器，其具备：具有第一光反射部的固定部；在第一衬底上形成，并具有隔着间隔与所述第一光反射部对置的第二光反射部，且可以相对所述固定部位移从而改变所述第一光反射部和所述第二光反射部之间距离的可动部；隔着间隔与所述可动部对置的驱动电极，通过在所述驱动电极和所述可动部之间产生电位差，而在它们之间产生静电引力，使所述可动部的位置及/或姿势变化，在所述第一光反射部和所述第二光反射部之间反复进行光反射，产生干涉，从而可以向外部射出与它们之间距离对应的波长的光，所述波长可变滤波器的特征在于，所述驱动电极具有隔着间隔与所述可动部的所述第二光反射部侧的面对置的第一驱动电极和隔着间隔与所述可动部的位于所述第二光反射部相反侧的面对置的第二驱动电极，所述固定部由所述第一衬底的所述可动部以外的部分和在所述第一衬底的一面上设置的第二衬底及在所述第一衬底的另一面上设置的第三衬底而构成，所述第二衬底具有第一凹部和形成在第一凹部的底部的第二凹部，且所述第一光反射部形成在所述第二凹部的底部，所述第二衬底还具有围住所述第一光反射部且设置在所述第二凹部的所述底部的检测电极。