旋乾机之轴承结构

摘要

本创作提供一种旋乾机之轴承结构，包含有轴承基座于表面之位置上设有凸型环，凸型环于中心位置上具有第一中空开口，轴承接合座于表面之位置上设有凹型环，凹型环于中心位置上具有第二中空开口，第一中空开口与第二中空开口相通，凸型环结合凹型环以形成环状气室，复数气孔环设于凸型环之周围，且气孔与环状气室、第一中空开口及第二中空开口相通。因此气孔可藉由气嘴连接至真空帮浦，当真空帮浦开始对气嘴抽真空，将可使得第一中空开口、第二中空开口及环状气室呈现为真空环境以抽离污染物，藉此可以提高制程腔体之环境的洁净度。