| 摘要 |
本创作一种垂直与悬臂复合型探针卡结构，是结合垂直式探针卡，具有密度高及悬臂式探针卡具有容易制作的优点，所发展的复合式探针卡，系包括一第一层探针、一第一层电路板、一第二层探针、一第二层电路板、一第三层探针、一第三层电路板、一隔绝材料、一下支撑板、一针尖、一插置孔、一悬臂端、一固定端及一电路板缝隙所组成。其中，第一层探针其针尖插于下支撑板之插置孔，探针之固定端固定于第一层电路板，同样第二层及第三层探针，其针尖亦插于下支撑板之插置孔，探针之固定端分别固定于第二层电路板及第三层电路板，电路板与电路板中间有隔绝材料，隔绝电流及固定用，同一排探针所连接的电路板之间有一电路板缝隙，使电路板形成一悬臂端，提供每一探针形成独立弹性，而达到探针卡功能。 |
