线上成膜装置

摘要

本发明提供一种线上成膜装置，其包括：沈积源、防沈积板及一网版。该等沈积源储存不同的成膜材料，并包括在一基板之宽度方向延伸上的开口，该宽度方向系垂直于输送方向。彼此平行配置的该等开口系在该输送方向上分别配置于上游及下游侧。隔开一共沈积室与相邻沈积室、并沿该输送方向彼此平行地放置于该上游及该下游侧上之该等板系限定来自该等开口之蒸汽的沈积区域。该网版限定并使用于来自该等开口之蒸汽的该基板之该等沈积区域与该等板所限定之沈积区域一致。由此，防止形成单含量膜并仅在该基板上形成混合膜。