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经营范围
发明名称
用于真空泵浦之前级预处理
摘要
本发明系一种用于为许多含有不相容气体之真空处理腔室排气之装置及方法。将该等气体引导至一含有预处理器件之低气压消除腔室。在该消除腔室中处理该等气体以使得其相容。然后,经由一前级泵浦将该等相容气体自该消除腔室中作为单一流而抽出。
申请公布号
TWI388729
申请公布日期
2013.03.11
申请号
TW094142673
申请日期
2005.12.02
申请人
艾德华真空公司 美国
发明人
克里斯多夫M 拜利;麦可S 柏格
分类号
F04D19/04;F04D25/16
主分类号
F04D19/04
代理机构
代理人
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址
美国
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